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电子束直写设备

被引：0
专利类型：
外观设计
申请号：
CN202530078154.1
申请日：
2025-02-21
公开(公告)号：
CN309536385S
公开(公告)日：
2025-10-10
发明(设计)人：
黄瑾 叶文龙 陈李松 徐洪威 张超
申请人：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址：
410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
IPC主分类号：
15-99
IPC分类号：
代理机构：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008
代理人：
刘畅舟
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-10 授权 授权
共 50 条
[1]
电子束直写设备和电子束直写方法 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN117766361A ,2024-03-26
[2]
电子束直写设备和电子束直写方法 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN117766360A ,2024-03-26
[3]
电子束直写器以及电子束直写系统 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850167A ,2024-04-09
[4]
电子束直写器以及电子束直写系统 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850167B ,2024-09-24
[5]
电子源模组和电子束直写机 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN120727543A ,2025-09-30
[6]
电子源模组和电子束直写机 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN120727545A ,2025-09-30
[7]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850168A ,2024-04-09
[8]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN118859638B ,2025-09-05
[9]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN118859638A ,2024-10-29
[10]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850168B ,2024-09-24
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