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一种电子束直写装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410859391.6
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN118859638A
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
刘强 王诗男
申请人：
上海集成电路材料研究院有限公司
申请人地址：
201899 上海市嘉定区皇庆路333号1号楼10F
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01J37/317 H01L21/027
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-11-15 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231128
2025-09-05 授权 授权
2024-10-29 公开 公开
共 50 条
[1]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850168A ,2024-04-09
[2]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN118859638B ,2025-09-05
[3]
一种电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850168B ,2024-09-24
[4]
电子束直写器以及电子束直写系统 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850167A ,2024-04-09
[5]
电子束直写器以及电子束直写系统 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850167B ,2024-09-24
[6]
电子束直写设备和电子束直写方法 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN117766361A ,2024-03-26
[7]
电子束直写设备和电子束直写方法 [P]. 
王诗男 ;
刘强 .
中国专利 :CN117766360A ,2024-03-26
[8]
电子束直写设备 [P]. 
黄瑾 ;
叶文龙 ;
陈李松 ;
徐洪威 ;
张超 .
中国专利 :CN309536385S ,2025-10-10
[9]
电子束发射电路以及电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850169B ,2025-01-21
[10]
电子束发射电路以及电子束直写装置 [P]. 
刘强 ;
王诗男 .
中国专利 :CN117850169A ,2024-04-09
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