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电子束发射电路以及电子束直写装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311608393.X
申请日：
2023-11-28
公开(公告)号：
CN117850169B
公开(公告)日：
2025-01-21
发明(设计)人：
刘强
王诗男
申请人：
上海集成电路材料研究院有限公司
申请人地址：
200810 上海市嘉定区皇庆路3333号1号楼10F
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
H01L21/027
H01J3/00
代理机构：
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人：
余明伟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
上海市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20231128 |
| 2025-07-29 | sicm.com.cn 电话：15921700254发明名称:电子束发射电路以及电子束直写装置使用费支付方式:入门费+提成（提成比例）使用费支付标准:采用入门费和提成费相结合的方式，其中入门费为5000000元，提成费按当年度合同产品净销售额的20%提取。授权公告日:20250121许可期限届满日:20260701生效日期:20250729 | 开放许可声明IPC(主分类):G03F 7/20声明编号:XK2025980004955申请日:20231128专利权人:上海集成电路材料研究院有限公司联系方式:联系人姓名：陈栋 邮编：200810 地址：上海市嘉定区皇庆路333号1号楼10楼 电子邮箱：dong.chen |
| 2024-04-09 | 公开 | 公开 |
| 2025-01-21 | 授权 | 授权 |