金属掩膜板的设计方法、金属掩膜板的制备方法

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专利类型
发明
申请号
CN201710452420.7
申请日
2017-06-15
公开(公告)号
CN107227438B
公开(公告)日
2017-10-03
发明(设计)人
吴建鹏 丁渭渭 杨忠英 罗昶
申请人
申请人地址
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号
C23C1404
IPC分类号
H01L5156
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
罗瑞芝;陈源
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法 [P]. 
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[2]
一种金属掩膜板的制备方法及金属掩膜板 [P]. 
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[3]
金属掩膜板焊接方法及金属掩膜板 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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