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氮化物外延结构及其制备方法
被引：0
申请号：
CN202110890902.7
申请日：
2021-08-04
公开(公告)号：
CN115705995A
公开(公告)日：
2023-02-17
发明(设计)人：
孙国臻
杨凯
张晓荣
林晓霞
申请人：
申请人地址：
214135 江苏省无锡市太湖国际科技园菱湖大道180号-6
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
代理机构：
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
魏宇星
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2023-02-17 | 公开 | 公开 |