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氮化物外延片及其制备方法和半导体器件
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010418395.2
申请日：
2020-05-18
公开(公告)号：
CN111682061A
公开(公告)日：
2020-09-18
发明(设计)人：
陈智斌
黄伯宁
申请人：
申请人地址：
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼
IPC主分类号：
H01L2906
IPC分类号：
H01L2102
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
熊永强;李稷芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-09-18 | 公开 | 公开 |
| 2021-12-31 | 授权 | 授权 |
| 2020-10-20 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/06 申请日:20200518 |