接触孔栓塞的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510161233.4

申请日：

2015-04-03

公开(公告)号：

CN106158728A

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

林艺辉

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

应战;骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	公开	公开
2019-12-03	授权	授权
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692528027 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015101612334 申请日:20150403

共 50 条

[1]

位线接触的形成方法 [P].

杨中辉 ;

陈文丽 ;

蔡信裕 ;

孙智江 .

中国专利 :CN101312152A ,2008-11-26

[2]

接触孔的形成方法 [P].

陈俊哲 ;

叶芳裕 ;

林涵智 ;

陈进贤 .

中国专利 :CN1481015A ,2004-03-10

[3]

接触孔的形成方法 [P].

夏建慧 ;

顾以理 ;

奚裴 ;

张博 ;

张雄 .

中国专利 :CN102522370A ,2012-06-27

[4]

接触孔的形成方法 [P].

彭鑫堂 ;

王永进 ;

杨登峻 .

中国专利 :CN1469434A ,2004-01-21

[5]

接触孔的形成方法 [P].

韩秋华 ;

陈海华 ;

韩宝东 .

中国专利 :CN101651116A ,2010-02-17

[6]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

孙武 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN102087992A ,2011-06-08

[7]

接触孔形成方法 [P].

罗飞 .

中国专利 :CN102157435B ,2011-08-17

[8]

接触孔的形成方法 [P].

黄敬勇 ;

韩秋华 .

中国专利 :CN102468217B ,2012-05-23

[9]

接触孔的形成方法 [P].

韩秋华 ;

黄敬勇 ;

李国锋 .

中国专利 :CN102376627B ,2012-03-14

[10]

接触孔的形成方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 ;

符雅丽 .

中国专利 :CN101894791B ,2010-11-24

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