一种研磨抛光装置

被引：0

申请号：

CN202220611945.7

申请日：

2022-03-18

公开(公告)号：

CN216913349U

公开(公告)日：

2022-07-08

发明(设计)人：

彭志明屈嘉祥

申请人：

申请人地址：

317025 浙江省台州市临海市花园工业区

IPC主分类号：

B24B3103

IPC分类号：

B24B3106 B24B3112 B24B4700

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

周念念

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-08	授权	授权

共 50 条

[1]

一种曲面研磨抛光装置 [P].

梁瑞连 .

中国专利 :CN206383014U ,2017-08-08

[2]

一种硅片边缘抛光研磨装置 [P].

曾庆明 ;

赵亮 ;

曾庆华 ;

万明 ;

镇咸生 .

中国专利 :CN222755080U ,2025-04-15

[3]

一种芯片夹具抛光研磨装置 [P].

龚渤 ;

李鑫 ;

任涛 ;

张亮 ;

魏雍 .

中国专利 :CN217413593U ,2022-09-13

[4]

一种芯片夹具抛光研磨装置 [P].

史朝阳 ;

唐相光 .

中国专利 :CN222520951U ,2025-02-25

[5]

一种研磨抛光头 [P].

李创宇 .

中国专利 :CN207387402U ,2018-05-22

[6]

一种抛光研磨系统 [P].

殷景 ;

余彪 ;

赵蒙 .

中国专利 :CN216759410U ,2022-06-17

[7]

一种研磨抛光装置 [P].

王公友 .

中国专利 :CN209850621U ,2019-12-27

[8]

一种研磨抛光装置 [P].

王永成 .

中国专利 :CN206925710U ,2018-01-26

[9]

一种研磨抛光装置 [P].

陈耀龙 .

中国专利 :CN101791778B ,2010-08-04

[10]

一种研磨抛光装置 [P].

许存荣 .

中国专利 :CN206855220U ,2018-01-09

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