基板检查装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780057525.0

申请日：

2017-08-25

公开(公告)号：

CN109716147B

公开(公告)日：

2019-05-03

发明(设计)人：

山田浩史藤原润

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G01R3128

IPC分类号：

H01L2166

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	公开	公开
2019-05-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20170825
2021-08-10	授权	授权

共 50 条

[1]

基板检查装置 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN104380448A ,2015-02-25

[2]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山田浩史 .

中国专利 :CN109863414A ,2019-06-07

[3]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

李东勋 ;

曺慈泳 .

韩国专利 :CN118777723A ,2024-10-15

[4]

基板检查装置 [P].

森田慎吾 ;

村田道雄 .

中国专利 :CN104950235B ,2015-09-30

[5]

基板检查装置以及基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105137255A ,2015-12-09

[6]

基板检查装置及基板检查方法 [P].

戒田理夫 .

中国专利 :CN1996028A ,2007-07-11

[7]

基板检查方法及基板检查装置 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN105510798A ,2016-04-20

[8]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

山下宗宽 .

中国专利 :CN101191811A ,2008-06-04

[9]

基板检查装置和基板检查方法 [P].

角田晴美 .

中国专利 :CN101454680A ,2009-06-10

[10]

基板检查方法和基板检查装置 [P].

久野和哉 ;

清富晶子 .

中国专利 :CN110739240A ,2020-01-31

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