一种硅块抛光装置和硅块抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310755847.6

申请日：

2013-12-30

公开(公告)号：

CN103722480A

公开(公告)日：

2014-04-16

发明(设计)人：

马帅王鑫波王康

申请人：

申请人地址：

301510 天津市滨海新区津汉公路13888号滨海高新区滨海科技园日新道188号

IPC主分类号：

B24B2902

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

魏晓波

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-16	公开	公开
2016-04-13	授权	授权
2014-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582225084 IPC(主分类):B24B 29/02 专利申请号:2013107558476 申请日:20131230

共 50 条

[1]

一种硅块抛光方法 [P].

马帅 ;

王鑫波 ;

王康 .

中国专利 :CN103707175A ,2014-04-09

[2]

一种立式硅块抛光装置 [P].

任军海 ;

姜超 .

中国专利 :CN203031424U ,2013-07-03

[3]

硅晶圆的最终抛光方法和最终抛光装置 [P].

郑加镇 .

中国专利 :CN109648451A ,2019-04-19

[4]

阀块深环槽部位抛光装置及其抛光方法 [P].

程军 ;

郭昭志 ;

宋克峰 ;

纪海贞 ;

李靖宇 .

中国专利 :CN118544244A ,2024-08-27

[5]

一种硅晶片循环抛光装置及循环抛光方法 [P].

潘国顺 ;

陈高攀 ;

罗桂海 ;

顾忠华 .

中国专利 :CN104476383A ,2015-04-01

[6]

磨块抛光装置 [P].

龙其瑞 .

中国专利 :CN200977621Y ,2007-11-21

[7]

硅衬底片抛光方法和装置 [P].

赵慧佳 ;

姜博成 ;

金军 ;

路新春 ;

沈攀 .

中国专利 :CN107030583A ,2017-08-11

[8]

一种硅部件的斜面抛光装置及斜面抛光方法 [P].

卢旭彬 ;

蔡新域 ;

胡龙辉 .

中国专利 :CN120422130A ,2025-08-05

[9]

一种金属块抛光装置 [P].

郑琮 .

中国专利 :CN208629184U ,2019-03-22

[10]

一种硅棒抛光装置 [P].

高翔鹰 ;

韩军 ;

胡进忠 .

中国专利 :CN220463458U ,2024-02-09

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