一种钨化学机械抛光后的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010619986.2

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102569022A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

彭洪修刘兵孙广胜

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

C11D726 C11D732 C11D728 B08B304

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	公开	公开
2014-08-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101703925260 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2010106199862 申请公布日:20120711

共 50 条

[1]

化学机械抛光方法和化学机械抛光设备 [P].

邵群 ;

王庆玲 .

中国专利 :CN103035504B ,2013-04-10

[2]

化学机械抛光的方法、用于化学机械抛光的清洗装置 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN102485425A ,2012-06-06

[3]

化学机械抛光后清洗组合物及清洗方法 [P].

胡怀志 ;

高越 ;

唐奇乐 ;

毕明航 ;

胡盼 ;

王培浩 ;

刘子龙 ;

肖桂林 .

中国专利 :CN120843204A ,2025-10-28

[4]

钨的化学机械抛光方法 [P].

何蔺蓁 ;

蔡薇雯 ;

李振彬 .

中国专利 :CN108372459B ,2018-08-07

[5]

钨的化学机械抛光方法 [P].

J·Ｄ·彭 ;

何蔺蓁 ;

S·苏 .

中国专利 :CN109382756B ,2019-02-26

[6]

化学机械抛光方法 [P].

朱宏亮 ;

王爱兵 .

中国专利 :CN105513961A ,2016-04-20

[7]

用于钨的化学机械抛光的组合物及其制备方法和化学机械抛光的方法 [P].

张伟明 ;

章学春 ;

曾正午 ;

李俏 .

中国专利 :CN120349734A ,2025-07-22

[8]

一种化学机械抛光装置及化学机械抛光设备 [P].

刘永进 .

中国专利 :CN117564929A ,2024-02-20

[9]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[10]

化学机械抛光设备及化学机械抛光方法 [P].

李洪阳 ;

陈映松 ;

许振杰 ;

李长坤 ;

王科 .

中国专利 :CN120134207B ,2025-08-19

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