半导体设备多线程并发调度重算方法、系统及控制系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010274767.9
申请日
2020-04-09
公开(公告)号
CN111475308A
公开(公告)日
2020-07-31
发明(设计)人
柴加加
申请人
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号
G06F952
IPC分类号
G06F948
代理机构
北京思创毕升专利事务所 11218
代理人
孙向民;廉莉莉
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
多线程并发处理方法和多线程并发处理系统 [P]. 
周剑桥 .
中国专利 :CN107193539B ,2017-09-22
[2]
半导体设备、半导体工艺电源控制系统及方法 [P]. 
张瑶 .
中国专利 :CN112083680A ,2020-12-15
[3]
多线程并发处理系统及方法 [P]. 
项道东 .
中国专利 :CN108958896A ,2018-12-07
[4]
半导体设备控制方法、引擎及设备控制系统 [P]. 
刘亮 ;
张聪 .
中国专利 :CN119668167A ,2025-03-21
[5]
半导体设备控制系统的优化方法及系统 [P]. 
吴攀 ;
孙明站 ;
王志会 .
中国专利 :CN119472308B ,2025-04-25
[6]
半导体设备控制系统的优化方法及系统 [P]. 
吴攀 ;
孙明站 ;
王志会 .
中国专利 :CN119472308A ,2025-02-18
[7]
半导体设备控制系统和系统监控方法 [P]. 
杜青 .
中国专利 :CN111781913B ,2020-10-16
[8]
臭氧浓度控制系统及半导体设备 [P]. 
柳雪 ;
杨德赞 ;
张义明 ;
祁广杰 ;
刘镇颉 .
中国专利 :CN217278222U ,2022-08-23
[9]
尾气稀释控制系统及半导体设备 [P]. 
林佳继 ;
董雪迪 ;
刘群 ;
张武 .
中国专利 :CN217982212U ,2022-12-06
[10]
一种半导体设备及半导体设备的控制系统 [P]. 
梅晓波 .
中国专利 :CN114883218A ,2022-08-09