一维表面形貌测量系统及其测量方法

被引：0

申请号：

CN202211020383.X

申请日：

2022-08-24

公开(公告)号：

CN115342749A

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

王建立王之一王廷煜杨永强糜小涛杨禹凯全胜姚凯男刘昌华

申请人：

申请人地址：

130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01B1102 G01B1126 G01N2188

代理机构：

长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218

代理人：

郭婷

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	公开	公开
2022-12-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20220824

共 50 条

[1]

一维表面形貌测量系统及其测量方法 [P].

王建立 ;

王之一 ;

王廷煜 ;

杨永强 ;

糜小涛 ;

杨禹凯 ;

全胜 ;

姚凯男 ;

刘昌华 .

中国专利 :CN115342749B ,2025-07-22

[2]

形貌测量方法及其测量装置 [P].

张宏彰 ;

林耀明 .

中国专利 :CN1952594B ,2007-04-25

[3]

物体表面形貌测量方法 [P].

刘庆 ;

李军旗 ;

中川威雄 .

中国专利 :CN101354246A ,2009-01-28

[4]

一种晶圆表面三维形貌测量装置及其测量方法 [P].

张效栋 ;

朱琳琳 ;

焦凡苇 ;

程威盛 ;

吴宣宗 ;

刘现磊 .

中国专利 :CN115325963A ,2022-11-11

[5]

形貌测量设备、形貌测量装置及测量方法 [P].

马勋亮 .

中国专利 :CN118089582A ,2024-05-28

[6]

工件表面形貌精密测量装置及测量方法 [P].

戴强 ;

徐彦德 .

中国专利 :CN101403608A ,2009-04-08

[7]

一种超半球表面形貌测量装置及其测量方法 [P].

杨桂桦 .

中国专利 :CN120293068A ,2025-07-11

[8]

大视场物体微观表面三维形貌的测量系统及其测量方法 [P].

张红霞 ;

张以谟 ;

井文才 ;

贾大功 ;

李晓静 .

中国专利 :CN101050949A ,2007-10-10

[9]

三维形貌的测量方法及测量装置 [P].

黄鑫 .

中国专利 :CN112212815B ,2025-04-04

[10]

一种隧道表面形貌测量传感器及其测量方法 [P].

李俊 ;

张鼎博 ;

张訢炜 ;

李嘉伟 ;

张家瑞 ;

范斌斌 ;

马天 .

中国专利 :CN115265376B ,2024-06-25

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