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一种晶圆盒传送装载设备及传送装载方法

被引：0
申请号：
CN202211265070.0
申请日：
2022-10-17
公开(公告)号：
CN115621178A
公开(公告)日：
2023-01-17
发明(设计)人：
李壮 庞有桃 肖俊
申请人：
申请人地址：
201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21673
代理机构：
上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385
代理人：
张雪
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-17 公开 公开
2023-02-10 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20221017
共 50 条
[1]
晶圆装载装置和晶圆传送装置 [P]. 
张效进 ;
蒋开伟 .
中国专利 :CN221102054U ,2024-06-07
[2]
一种晶圆自动装载设备、晶圆自动装载方法 [P]. 
王体炉 ;
王晏酩 ;
黄冠达 ;
宋亚歌 ;
李健通 ;
唐志甫 .
中国专利 :CN108962806A ,2018-12-07
[3]
晶圆盒装载设备 [P]. 
倪萌 ;
李壮 ;
陈垒 ;
周太君 ;
丁光宇 .
中国专利 :CN118335660A ,2024-07-12
[4]
晶圆传送手臂、晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
乔鹏 .
中国专利 :CN119725189A ,2025-03-28
[5]
晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
许嘉祐 ;
申世泓 ;
颜炎 ;
涂伟峰 ;
黄政贤 .
中国专利 :CN112838037A ,2021-05-25
[6]
一种晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
魏猛 ;
郭聪 ;
张爽 ;
李冬海 .
中国专利 :CN119028890B ,2025-01-14
[7]
一种晶圆传送装置及晶圆传送方法 [P]. 
魏猛 ;
郭聪 ;
张爽 ;
李冬海 .
中国专利 :CN119028890A ,2024-11-26
[8]
一种传送装载装置及其装载方法 [P]. 
吴新海 ;
赵磊 ;
王玉杰 ;
李凤春 ;
栗北 ;
刘振 .
中国专利 :CN107601021A ,2018-01-19
[9]
晶圆盒装载设备及晶圆盒装载设备的控制方法 [P]. 
王振强 ;
苗兆忠 ;
徐国丽 ;
下野智成 .
中国专利 :CN120954999A ,2025-11-14
[10]
晶圆装载设备 [P]. 
刘凯 ;
倪明明 ;
吴宗祐 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN209496840U ,2019-10-15
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