去除金属硬掩膜的方法和组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310224268.9

申请日：

2013-03-15

公开(公告)号：

CN103887148A

公开(公告)日：

2014-06-25

发明(设计)人：

D·王 M·W·贝耶斯 P·特雷福纳斯 K·M·奥康内尔

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

吴培善

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/02 申请公布日:20140625
2016-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101643092475 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2013102242689 申请日:20130315
2014-06-25	公开	公开

共 50 条

[1]

金属硬掩膜组合物 [P].

D·王 ;

J·孙 ;

P·特雷弗纳斯 ;

K·M·奥康奈尔 .

中国专利 :CN103365085A ,2013-10-23

[2]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

中国专利 :CN114424122A ,2022-04-29

[3]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

韩国专利 :CN114424122B ,2025-12-12

[4]

聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN112194780A ,2021-01-08

[5]

一种去除栅极硬掩膜层的方法 [P].

桑宁波 ;

李润领 ;

关天鹏 .

中国专利 :CN105304570A ,2016-02-03

[6]

一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法 [P].

王静 ;

毛鸿超 ;

宋里千 .

中国专利 :CN113960879B ,2024-05-24

[7]

一种硬掩膜组合物及其制备方法、形成图案的方法 [P].

王静 ;

毛鸿超 ;

宋里千 .

中国专利 :CN113960879A ,2022-01-21

[8]

硬涂层组合物及含硬涂层组合物的硬涂膜、窗膜和显示装置 [P].

李升祐 .

中国专利 :CN107312369A ,2017-11-03

[9]

硬涂层组合物及使用硬涂层组合物的硬涂膜 [P].

李升祐 .

中国专利 :CN107400449A ,2017-11-28

[10]

硬涂层组合物及使用硬涂层组合物的硬涂膜 [P].

李升祐 ;

金东辉 ;

金承熙 .

中国专利 :CN108299899A ,2018-07-20

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