金属硬掩膜组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310225934.0

申请日：

2013-03-06

公开(公告)号：

CN103365085A

公开(公告)日：

2013-10-23

发明(设计)人：

D·王 J·孙 P·特雷弗纳斯 K·M·奥康奈尔

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

吴培善

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-10-23	公开	公开
2015-04-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101604905069 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2013102259340 申请日:20130306
2021-08-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/004 申请公布日:20131023

共 50 条

[1]

硬掩膜组合物和使用硬掩膜组合物形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

金惠廷 ;

金相均 ;

金瑆焕 ;

金润俊 ;

文俊怜 ;

宋炫知 .

中国专利 :CN104749880B ,2015-07-01

[2]

去除金属硬掩膜的方法和组合物 [P].

D·王 ;

M·W·贝耶斯 ;

P·特雷福纳斯 ;

K·M·奥康内尔 .

中国专利 :CN103887148A ,2014-06-25

[3]

抗反射硬掩膜组合物 [P].

崔相俊 .

中国专利 :CN110361931B ,2019-10-22

[4]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

中国专利 :CN114424122A ,2022-04-29

[5]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111290216B ,2020-06-16

[6]

硬掩膜组合物和硬掩膜及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 ;

宋里千 .

中国专利 :CN111240153B ,2020-06-05

[7]

硬掩膜组合物、硬掩膜层以及图案形成方法 [P].

林栽范 .

韩国专利 :CN114424122B ,2025-12-12

[8]

聚合物、硬掩膜组合物及形成图案的方法 [P].

王静 ;

肖楠 .

中国专利 :CN112194780A ,2021-01-08

[9]

硬掩膜组成物和使用所述硬掩膜组成物形成图案的方法 [P].

南沇希 ;

金惠廷 ;

宋炫知 .

中国专利 :CN105280481B ,2016-01-27

[10]

增透硬掩膜组合物和该组合物的使用方法 [P].

吴昌一 ;

鱼东善 ;

金到贤 ;

李镇国 ;

南伊纳 ;

尹熙灿 ;

金钟涉 .

中国专利 :CN101238413A ,2008-08-06

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