用于不同倍率光刻机的套刻标记

被引：0

申请号：

CN202220944276.5

申请日：

2022-04-22

公开(公告)号：

CN217060757U

公开(公告)日：

2022-07-26

发明(设计)人：

祝嘉泳王大地吴雷雷吴长春周一峰钱永学赖亚明黄鑫

申请人：

申请人地址：

200131 上海市中国（上海）自由贸易试验区临港新片区云汉路979号2楼

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

梁栋国

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-26	授权	授权

共 50 条

[1]

不同倍率光刻机之间的套刻精度的测量方法 [P].

陈福成 .

中国专利 :CN101644898B ,2010-02-10

[2]

不同光刻机之间的套刻匹配方法 [P].

王亚超 ;

李玉华 .

中国专利 :CN111435219A ,2020-07-21

[3]

不同光刻机之间的套刻匹配方法 [P].

李玉华 ;

王亚超 .

中国专利 :CN106154758A ,2016-11-23

[4]

套刻标记散射测量方法、装置以及光刻机 [P].

许翱鹏 ;

占健 .

中国专利 :CN115542671A ,2022-12-30

[5]

光刻机的套刻误差校正方法及系统、光刻机 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112445077B ,2021-03-05

[6]

套刻误差补偿方法、装置和光刻机 [P].

芮定海 ;

张利斌 ;

韦亚一 ;

粟雅娟 .

中国专利 :CN120779680A ,2025-10-14

[7]

一种用于光刻机的倍率内调镜头 [P].

李文静 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

张波 .

中国专利 :CN114217425A ,2022-03-22

[8]

一种用于光刻机的倍率内调镜头 [P].

李文静 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

薛业保 ;

张波 .

中国专利 :CN114217425B ,2024-04-09

[9]

一种用于高低倍率自动切换的光刻机 [P].

徐彦文 ;

徐广峰 ;

李亚晨 ;

黄乐之 ;

陈海巍 ;

王方江 .

中国专利 :CN222299943U ,2025-01-03

[10]

用于光刻机测试的光刻版及光刻机的测试方法 [P].

黄玮 .

中国专利 :CN102540737B ,2012-07-04

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