一种Cu-Mn合金的铸轧装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202121414131.6
申请日
2021-06-24
公开(公告)号
CN215430812U
公开(公告)日
2022-01-07
发明(设计)人
冯亮亮 庞云艳
申请人
申请人地址
224001 江苏省盐城市亭湖区环保科技城民联村民委员会一组、四组(28)
IPC主分类号
B21B146
IPC分类号
B21B1500 B21B2800 B22D1106
代理机构
南京众联专利代理有限公司 32206
代理人
郭微
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
Cu-Mn合金膜和Cu-Mn合金溅射靶材以及Cu-Mn合金膜的成膜方法 [P]. 
村田英夫 ;
上滩真史 ;
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[2]
Cu-Mn合金溅射靶材、Cu-Mn合金溅射靶材的制造方法以及半导体元件 [P]. 
辰巳宪之 ;
关聪至 ;
小林隆一 ;
上田孝史郎 .
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[3]
Cu-Mn合金溅射靶及半导体布线 [P]. 
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
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[8]
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[9]
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[10]
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