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一种等离子增强化学气相沉积装置和沉积方法

被引：0
申请号：
CN202210611927.3
申请日：
2022-06-01
公开(公告)号：
CN114686860B
公开(公告)日：
2022-07-01
发明(设计)人：
孙文彬 刘龙龙
申请人：
申请人地址：
226400 江苏省南通市如东县掘港街道金山路1号
IPC主分类号：
C23C16505
IPC分类号：
C23C16455
代理机构：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463
代理人：
严小艳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-01 公开 公开
2022-07-19 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/505 申请日:20220601
2022-09-16 授权 授权
共 50 条
[1]
等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
郑建毅 ;
杨群峰 ;
庄明凤 ;
郑高峰 ;
马少宇 .
中国专利 :CN103789750B ,2014-05-14
[2]
等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
郑敬锡 ;
尤沙科夫·安德瑞 ;
朴宣美 ;
郑和俊 ;
金应秀 .
中国专利 :CN100529176C ,2007-03-07
[3]
一种等离子增强化学气相沉积装置及其沉积方法 [P]. 
戴建波 ;
刘龙龙 .
中国专利 :CN115354310A ,2022-11-18
[4]
等离子增强化学气相沉积设备 [P]. 
T·佩尔瑙 ;
S·H·舒尔茨 .
中国专利 :CN211947211U ,2020-11-17
[5]
一种等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
左桂松 ;
董晓清 .
中国专利 :CN111850519A ,2020-10-30
[6]
一种等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
左桂松 ;
董晓清 .
中国专利 :CN212640605U ,2021-03-02
[7]
等离子体增强化学气相沉积设备 [P]. 
欧阳亮 .
中国专利 :CN120231033A ,2025-07-01
[8]
等离子增强化学气相沉积的方法及系统 [P]. 
范振华 .
中国专利 :CN101965417A ,2011-02-02
[9]
一种自调平等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
戴建波 ;
陆北源 .
中国专利 :CN115233192B ,2023-02-03
[10]
一种耦合高频振动的微型等离子增强化学气相沉积装置 [P]. 
郑建毅 ;
杨群峰 ;
庄明凤 ;
郑高峰 ;
陈新敏 .
中国专利 :CN104195528A ,2014-12-10
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