等离子体处理装置和等离子体处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03110402.9

申请日：

2003-04-09

公开(公告)号：

CN1236657C

公开(公告)日：

2003-10-22

发明(设计)人：

山本直子山本達志平山昌树大見忠弘

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H05H146

IPC分类号：

H01L213065

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

李玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-05-27	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101611569812 IPC(主分类):H05H 1/46 专利号:ZL031104029 申请日:20030409 授权公告日:20060111 终止日期:20140409
2006-01-11	授权	授权
2003-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

山泽阳平 .

中国专利 :CN102194639B ,2011-09-21

[2]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112788826B ,2024-09-13

[3]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

中国专利 :CN114107950A ,2022-03-01

[4]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

镰田英纪 ;

佐藤干夫 ;

池田太郎 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN113615322A ,2021-11-05

[5]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

佐藤干夫 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN112788826A ,2021-05-11

[6]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 ;

久保敦史 ;

镰田英纪 ;

山本伸彦 .

中国专利 :CN112509900A ,2021-03-16

[7]

等离子体处理方法和等离子体处理装置 [P].

镰田英纪 ;

佐藤干夫 ;

池田太郎 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN113615322B ,2024-08-02

[8]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

池田太郎 ;

久保敦史 ;

镰田英纪 ;

山本伸彦 .

日本专利 :CN112509900B ,2024-05-31

[9]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

镰田英纪 ;

池田太郎 ;

古屋治彦 .

日本专利 :CN114107950B ,2024-11-15

[10]

等离子体处理装置和等离子体处理方法 [P].

松浦广行 .

日本专利 :CN112786425B ,2024-09-20

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