用于气体供给和使用的系统和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110068974.X

申请日：

2011-03-22

公开(公告)号：

CN102200217A

公开(公告)日：

2011-09-28

发明(设计)人：

J.C.格蒙 K.L.伯格斯 C.萨里伊安尼季斯 M.D.麦凯恩 K.R.佩斯 H.朱 H.E.法拉

申请人：

申请人地址：

美国康涅狄格州

IPC主分类号：

F17C704

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

周春梅;谭祐祥

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-12-31	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101709353164 IPC(主分类):F17C 7/04 专利申请号:201110068974X 申请公布日:20110928
2011-09-28	公开	公开
2013-02-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101402936048 IPC(主分类):F17C 7/04 专利申请号:201110068974X 申请日:20110322

共 50 条

[1]

气体供给机构和气体供给方法以及使用其的成膜装置和成膜方法 [P].

诸井政幸 ;

山中孟 ;

饗场康 ;

堀田隼史 .

中国专利 :CN104947082B ,2015-09-30

[2]

用于测定气体的系统和方法 [P].

陈正博 ;

陈楠楠 ;

王蒙利 .

中国专利 :CN107228693B ,2017-10-03

[3]

液化气体供给系统的加热控制系统和方法 [P].

古崇新 ;

黄文昌 ;

赖苇芸 ;

柯淳勋 ;

杨嘉明 ;

潘立凯 ;

廖佑达 .

中国专利 :CN107543031A ,2018-01-05

[4]

气体供给装置、气体供给方法和成膜方法 [P].

山口克昌 ;

成嶋健索 ;

八木宏宪 .

中国专利 :CN108531888A ,2018-09-14

[5]

液化气体供给设备和方法 [P].

横木和夫 ;

猪野实 ;

三好伸二 .

中国专利 :CN101270847B ,2008-09-24

[6]

混合气体的供给方法和混合气体的供给装置 [P].

内田阳平 .

中国专利 :CN101761778B ,2010-06-30

[7]

用于供给气体的设备 [P].

雷纳·朔伊林 ;

A·卡尔斯巴赫 ;

T·克里克 ;

H-C·哈曼-库恩 .

中国专利 :CN104350322B ,2015-02-11

[8]

功率供给系统和用于该功率供给系统的半导体设备 [P].

黑井芳启 .

中国专利 :CN109753467A ,2019-05-14

[9]

功率供给系统和用于该功率供给系统的半导体设备 [P].

黑井芳启 .

日本专利 :CN109753467B ,2024-06-11

[10]

燃烧气体供给系统和流体加热系统 [P].

卡尔·尼古拉斯·尼特 ;

基思·理查德·瓦尔策 .

中国专利 :CN205606617U ,2016-09-28

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