用于高速涂覆的真空沉积装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680075464.6

申请日：

2016-12-14

公开(公告)号：

CN108474103A

公开(公告)日：

2018-08-31

发明(设计)人：

南庆勋金相俊高景弼金兑烨严文钟

申请人：

申请人地址：

韩国庆尚北道

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454 C23C1402

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

张晶;赵赫

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/24 申请公布日:20180831
2018-09-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20161214
2018-08-31	公开	公开

共 50 条

[1]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

:CN111479949B ,2025-10-17

[2]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

塞尔焦·帕切 ;

布鲁诺·施米茨 ;

迪迪埃·马尔内夫 ;

埃里奇·西尔伯贝格 .

中国专利 :CN112400034A ,2021-02-23

[3]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

中国专利 :CN111479950A ,2020-07-31

[4]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 .

中国专利 :CN112262226A ,2021-01-22

[5]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

中国专利 :CN111479949A ,2020-07-31

[6]

用于涂覆基底的真空沉积设备和方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

蒂亚戈·拉贝洛努内斯坎波斯 ;

奈格尔·吉拉尼 .

中国专利 :CN112272714B ,2021-01-26

[7]

用于涂覆基底的真空沉积设备和方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 .

中国专利 :CN112272713A ,2021-01-26

[8]

用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置 [P].

佛朗哥·莫雷尼 ;

安东尼奥·柯瑞亚 ;

朱塞佩·维斯科米 .

中国专利 :CN107829069B ,2018-03-23

[9]

用于基材的真空涂覆的盒式涂覆装置 [P].

佛朗哥·莫雷尼 ;

安东尼奥·柯瑞亚 ;

朱塞佩·维斯科米 .

中国专利 :CN207727134U ,2018-08-14

[10]

真空沉积系统和在真空沉积系统中涂覆基板的方法 [P].

埃尔坎·科帕拉 .

中国专利 :CN118742669A ,2024-10-01

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