用于涂覆基底的真空沉积设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980039218.9

申请日：

2019-04-23

公开(公告)号：

CN112272714B

公开(公告)日：

2021-01-26

发明(设计)人：

埃里奇·西尔伯贝格蒂亚戈·拉贝洛努内斯坎波斯奈格尔·吉拉尼

申请人：

申请人地址：

卢森堡卢森堡市

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1416 C23C1424 C23C1456

代理机构：

北京允天律师事务所 11697

代理人：

青炜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20190423
2021-01-26	公开	公开
2023-02-17	授权	授权

共 50 条

[1]

用于涂覆基底的真空沉积设备和方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 .

中国专利 :CN112272713A ,2021-01-26

[2]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

中国专利 :CN111479950A ,2020-07-31

[3]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 .

中国专利 :CN112262226A ,2021-01-22

[4]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

塞尔焦·帕切 ;

布鲁诺·施米茨 ;

迪迪埃·马尔内夫 ;

埃里奇·西尔伯贝格 .

中国专利 :CN112400034A ,2021-02-23

[5]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

中国专利 :CN111479949A ,2020-07-31

[6]

真空沉积设备和用于涂覆基底的方法 [P].

埃里奇·西尔伯贝格 ;

布鲁诺·施米茨 ;

塞尔焦·帕切 ;

雷米·邦内曼 ;

迪迪埃·马尔内夫 .

:CN111479949B ,2025-10-17

[7]

在真空中涂覆基底的方法和设备 [P].

G·L·史密斯 .

中国专利 :CN1402800A ,2003-03-12

[8]

真空沉积设备和用于真空沉积的方法 [P].

韩政洹 .

中国专利 :CN104278232A ,2015-01-14

[9]

用于高速涂覆的真空沉积装置 [P].

南庆勋 ;

金相俊 ;

高景弼 ;

金兑烨 ;

严文钟 .

中国专利 :CN108474103A ,2018-08-31

[10]

真空沉积系统和在真空沉积系统中涂覆基板的方法 [P].

埃尔坎·科帕拉 .

中国专利 :CN118742669A ,2024-10-01

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