晶圆测试方法、晶圆测试装置以及晶圆测试系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201810862873.1
申请日
2018-08-01
公开(公告)号
CN108983072B
公开(公告)日
2018-12-11
发明(设计)人
刘宏志
申请人
申请人地址
214000 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111号无锡软件园天鹅座C栋5楼
IPC主分类号
G01R3128
IPC分类号
代理机构
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人
蔡纯;张靖琳
法律状态
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码
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共 50 条
[1]
晶圆测试方法、晶圆测试装置以及晶圆测试系统 [P]. 
刘宏志 .
中国专利 :CN109856527A ,2019-06-07
[2]
晶圆测试装置以及晶圆测试方法 [P]. 
韦日文 .
中国专利 :CN118409177A ,2024-07-30
[3]
晶圆的测试方法、测试装置以及晶圆测试系统 [P]. 
李维泽 ;
李泽育 ;
黄绍铭 ;
冉薇 .
中国专利 :CN115101437B ,2024-02-06
[4]
晶圆的测试方法、测试装置以及晶圆测试系统 [P]. 
李维泽 ;
李泽育 ;
黄绍铭 ;
冉薇 .
中国专利 :CN115101437A ,2022-09-23
[5]
晶圆测试结构、晶圆以及晶圆的测试方法 [P]. 
陈亮 .
中国专利 :CN109904091B ,2019-06-18
[6]
晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P]. 
刘昌江 ;
周杰 ;
田茂 ;
谢家红 .
中国专利 :CN110164789A ,2019-08-23
[7]
晶圆测试装置及晶圆测试方法 [P]. 
唐莎 ;
滕雷 ;
罗军 ;
唐锐 ;
王小强 ;
罗宏伟 .
中国专利 :CN112924847A ,2021-06-08
[8]
晶圆测试方法及晶圆测试装置 [P]. 
石恒志 ;
刘刚 .
中国专利 :CN113725110A ,2021-11-30
[9]
晶圆测试装置及晶圆测试方法 [P]. 
陈立军 ;
姚大平 .
中国专利 :CN109239578A ,2019-01-18
[10]
晶圆测试盒、晶圆测试系统及晶圆测试方法 [P]. 
刘俊良 ;
陈和也 .
中国专利 :CN119644097A ,2025-03-18