共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆测试装置及晶圆测试方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811126228.X
申请日：
2018-09-26
公开(公告)号：
CN109239578A
公开(公告)日：
2019-01-18
发明(设计)人：
陈立军
姚大平
申请人：
申请人地址：
214135 江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号传感网国际创新园D1栋
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
G01R1067
代理机构：
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人：
马永芬
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-18 | 公开 | 公开 |
| 2019-02-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20180926 |