共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
晶圆测试装置及晶圆测试方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110081568.0
申请日：
2021-01-21
公开(公告)号：
CN112924847A
公开(公告)日：
2021-06-08
发明(设计)人：
唐莎
滕雷
罗军
唐锐
王小强
罗宏伟
申请人：
申请人地址：
511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号
IPC主分类号：
G01R3128
IPC分类号：
B08B100
代理机构：
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人：
郭凤杰
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-06-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 31/28 申请日:20210121 |
| 2021-06-08 | 公开 | 公开 |