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晶圆测试方法及晶圆测试装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110994247.X
申请日：
2021-08-27
公开(公告)号：
CN113725110B
公开(公告)日：
2024-03-29
发明(设计)人：
石恒志
刘刚
申请人：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址：
430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
IPC主分类号：
H01L21/66
IPC分类号：
H01L23/544
代理机构：
上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294
代理人：
孙佳胤;陈丽丽
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
石家庄市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-03-29 | 授权 | 授权 |