一种半导体晶片绿色环保抛光剂

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专利类型
发明
申请号
CN201310387806.6
申请日
2013-08-31
公开(公告)号
CN103436184A
公开(公告)日
2013-12-11
发明(设计)人
张竹香
申请人
申请人地址
266199 山东省青岛市李沧区郑佛路17号综合楼131室
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种半导体晶片机械环保抛光剂 [P]. 
张竹香 .
中国专利 :CN103436180A ,2013-12-11
[2]
一种半导体晶片抛光剂 [P]. 
范向奎 .
中国专利 :CN104046273A ,2014-09-17
[3]
一种半导体晶片机械抛光剂 [P]. 
张竹香 .
中国专利 :CN103436188A ,2013-12-11
[4]
一种半导体晶片化学抛光抗腐蚀剂 [P]. 
范向奎 .
中国专利 :CN104046255A ,2014-09-17
[5]
一种晶片抛光剂 [P]. 
范向奎 .
中国专利 :CN104046267A ,2014-09-17
[6]
半导体晶片精密化学机械抛光剂 [P]. 
朱蓉辉 ;
惠峰 ;
卜俊鹏 ;
郑红军 ;
赵冀 .
中国专利 :CN101045853A ,2007-10-03
[7]
半导体晶片精密化学机械抛光剂 [P]. 
赵有文 ;
惠峰 ;
高永亮 ;
朱蓉辉 .
中国专利 :CN102234484A ,2011-11-09
[8]
一种半导体材料无有毒物质残留的机械抛光剂 [P]. 
张竹香 .
中国专利 :CN103436186A ,2013-12-11
[9]
一种晶片制造用环保抛光剂 [P]. 
范向奎 .
中国专利 :CN104046253A ,2014-09-17
[10]
一种晶片环保抛光剂 [P]. 
范向奎 .
中国专利 :CN104059546A ,2014-09-24