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薄膜局部介电常数测量方法、系统和存储介质
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010917292.0
申请日：
2020-09-03
公开(公告)号：
CN112198370A
公开(公告)日：
2021-01-08
发明(设计)人：
罗永震
丁喜冬
粟涛
陈弟虎
申请人：
申请人地址：
510275 广东省广州市海珠区新港西路135号中山大学南校区
IPC主分类号：
G01R2726
IPC分类号：
代理机构：
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人：
常柯阳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-08 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-26 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 27/26 申请日:20200903 |
| 2022-04-29 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01R 27/26 申请公布日:20210108 |