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一种晶圆初步目检装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120306913.1
申请日：
2021-02-03
公开(公告)号：
CN214374387U
公开(公告)日：
2021-10-08
发明(设计)人：
冀然
申请人：
申请人地址：
266109 山东省青岛市城阳区城阳街道祥阳路106号青岛未来科技产业园6号厂房
IPC主分类号：
G01N2195
IPC分类号：
G01N2101
代理机构：
山东重诺律师事务所 37228
代理人：
王鹏里
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-10-08 | 授权 | 授权 |