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一种用于晶圆目检的扩晶环承载装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201920950510.3
申请日：
2019-06-24
公开(公告)号：
CN210115259U
公开(公告)日：
2020-02-28
发明(设计)人：
缪晓斌
王国杰
申请人：
申请人地址：
215024 江苏省苏州市工业园区苏虹东路388号
IPC主分类号：
B07C704
IPC分类号：
代理机构：
北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467
代理人：
杨楠
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-02-28 | 授权 | 授权 |