晶圆缺陷目检装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201020130281.X

申请日：

2010-03-12

公开(公告)号：

CN201673128U

公开(公告)日：

2010-12-15

发明(设计)人：

蔡金玉王承惠苏旸俞洁妮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

G01N21892

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-10	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 21/892 申请日:20100312 授权公告日:20101215 终止日期:20190312
2013-03-20	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101538393320 IPC(主分类):G01N 21/892 专利号:ZL201020130281X 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130219
2010-12-15	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆缺陷自动目检的方法 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

顾珍 .

中国专利 :CN103424410A ,2013-12-04

[2]

一种晶圆初步目检装置 [P].

冀然 .

中国专利 :CN214374387U ,2021-10-08

[3]

晶圆的全自动目检机 [P].

颜博 .

中国专利 :CN212542366U ,2021-02-12

[4]

一种晶圆目检治具 [P].

陈军 ;

陈毅志 ;

蔡文必 .

中国专利 :CN209296595U ,2019-08-23

[5]

检测晶圆缺陷的装置 [P].

李秀山 ;

朱建华 ;

黄寒寒 ;

施威 ;

周文龙 .

中国专利 :CN207067010U ,2018-03-02

[6]

晶圆缺陷分析装置及晶圆缺陷分析方法 [P].

林佳良 ;

刘埃森 ;

锺承育 ;

冯祥铵 ;

陈亚理 .

中国专利 :CN120102586A ,2025-06-06

[7]

晶圆缺陷分类方法以及晶圆缺陷分类装置 [P].

吴在晚 ;

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115115564A ,2022-09-27

[8]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[9]

一种半导体晶圆目检灯 [P].

柯武生 .

中国专利 :CN209102622U ,2019-07-12

[10]

全自动目检机的晶圆检测系统 [P].

颜博 .

中国专利 :CN212392217U ,2021-01-22

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