晶圆缺陷自动目检的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310339457.0

申请日：

2013-08-02

公开(公告)号：

CN103424410A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

郭贤权许向辉顾珍

申请人：

申请人地址：

201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号

IPC主分类号：

G01N2188

IPC分类号：

代理机构：

上海申新律师事务所 31272

代理人：

竺路玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-04-27	授权	授权
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101558126887 IPC(主分类):G01N 21/88 专利申请号:2013103394570 申请日:20130802
2013-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷目检装置 [P].

蔡金玉 ;

王承惠 ;

苏旸 ;

俞洁妮 .

中国专利 :CN201673128U ,2010-12-15

[2]

晶圆缺陷的监控方法 [P].

胡向华 ;

陈肖 ;

何广智 ;

顾晓芳 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN112117207B ,2020-12-22

[3]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

罗聪 .

中国专利 :CN108511359A ,2018-09-07

[4]

晶圆缺陷的验证方法 [P].

李健 .

中国专利 :CN112330590B ,2024-07-05

[5]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN106971955A ,2017-07-21

[6]

减少晶圆缺陷的方法 [P].

胡伟玲 ;

李光磊 .

中国专利 :CN118983213A ,2024-11-19

[7]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

张玉 ;

李彬 ;

肖春光 ;

王洋 ;

付鹏 .

中国专利 :CN101378024B ,2009-03-04

[8]

晶圆缺陷的验证方法 [P].

李健 .

中国专利 :CN112330590A ,2021-02-05

[9]

监控晶圆缺陷的方法 [P].

翁武安 ;

许旺财 ;

刘坤祐 ;

赖怡洁 .

中国专利 :CN1629624B ,2005-06-22

[10]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

胡骏 ;

刘志成 ;

李健 .

中国专利 :CN102087985A ,2011-06-08

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