晶圆缺陷的检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710045485.6

申请日：

2007-08-31

公开(公告)号：

CN101378024B

公开(公告)日：

2009-03-04

发明(设计)人：

张玉李彬肖春光王洋付鹏

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	授权	授权
2009-03-04	公开	公开
2009-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[2]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

[3]

晶圆缺陷分析模型的训练方法及晶圆缺陷检测方法 [P].

白肖艳 ;

蔡雨桐 ;

易丛文 ;

夏敏 ;

管健 .

中国专利 :CN118967600A ,2024-11-15

[4]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

罗聪 .

中国专利 :CN108511359A ,2018-09-07

[5]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

郭贤权 ;

许向辉 ;

陈昊瑜 .

中国专利 :CN106971955A ,2017-07-21

[6]

晶圆缺陷的检测方法 [P].

胡骏 ;

刘志成 ;

李健 .

中国专利 :CN102087985A ,2011-06-08

[7]

晶圆缺陷检测方法 [P].

王通 ;

王潇斐 .

中国专利 :CN112086373A ,2020-12-15

[8]

晶圆缺陷检测方法 [P].

李军 ;

何广智 ;

倪棋梁 .

中国专利 :CN115471475A ,2022-12-13

[9]

晶圆缺陷检测方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

王恺 .

中国专利 :CN103646889A ,2014-03-19

[10]

晶圆缺陷检测方法 [P].

曾明 .

中国专利 :CN103377960A ,2013-10-30

← 1 2 3 4 5 →