低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法及低温多晶硅薄膜晶体管

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510471290.2

申请日：

2015-08-04

公开(公告)号：

CN105097550A

公开(公告)日：

2015-11-25

发明(设计)人：

周星宇张晓星

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9—2号

IPC主分类号：

H01L21336

IPC分类号：

H01L29786 H01L2906

代理机构：

深圳市德力知识产权代理事务所 44265

代理人：

林才桂

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-12-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20151125
2015-12-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101638504122 IPC(主分类):H01L 21/336 专利申请号:2015104712902 申请日:20150804
2015-11-25	公开	公开

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717021Y ,2005-08-10

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

郭政彰 .

中国专利 :CN2717022Y ,2005-08-10

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

林昆志 ;

陈坤宏 .

中国专利 :CN1525554A ,2004-09-01

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

吴元均 ;

连水池 ;

周星宇 .

中国专利 :CN106057677B ,2016-10-26

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105448740A ,2016-03-30

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

胡重粮 .

中国专利 :CN109616415A ,2019-04-12

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

林辉巨 .

中国专利 :CN1567550A ,2005-01-19

[9]

低温多晶硅薄膜晶体管基板 [P].

谢朝桦 ;

彭家鹏 .

中国专利 :CN2727796Y ,2005-09-21

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及薄膜晶体管基板 [P].

陈秋权 .

中国专利 :CN104538456A ,2015-04-22

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