共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811355053.X
申请日：
2018-11-14
公开(公告)号：
CN109616415A
公开(公告)日：
2019-04-12
发明(设计)人：
胡重粮
申请人：
申请人地址：
430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L29786
代理机构：
深圳市德力知识产权代理事务所 44265
代理人：
林才桂;王中华
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-04-12 | 公开 | 公开 |
| 2019-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20181114 |
| 2022-02-25 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/336 申请公布日:20190412 |