低温多晶硅薄膜晶体管单元及其制作方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610040587.8

申请日：

2016-01-21

公开(公告)号：

CN105632905A

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

李子健

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

H01L21268

IPC分类号：

H01L21336 H01L29786

代理机构：

深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280

代理人：

袁江龙

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-05-11	授权	授权
2016-06-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101667878421 IPC(主分类):H01L 21/268 专利申请号:2016100405878 申请日:20160121
2016-06-01	公开	公开

共 50 条

[1]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法及低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

周星宇 ;

张晓星 .

中国专利 :CN105097550A ,2015-11-25

[2]

低温多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制备方法 [P].

赵瑜 .

中国专利 :CN106024708A ,2016-10-12

[3]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

吴元均 ;

连水池 ;

周星宇 .

中国专利 :CN106057677B ,2016-10-26

[4]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105448740A ,2016-03-30

[5]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

胡重粮 .

中国专利 :CN109616415A ,2019-04-12

[6]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

林辉巨 .

中国专利 :CN1567550A ,2005-01-19

[7]

低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法 [P].

林昆志 ;

陈坤宏 .

中国专利 :CN1525554A ,2004-09-01

[8]

低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

邱勇 ;

黄秀颀 ;

朱涛 ;

刘玉成 .

中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17

[9]

低温多晶硅薄膜及其制备方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P].

葛泳 ;

刘玉成 ;

朱涛 ;

顾维杰 .

中国专利 :CN104362084A ,2015-02-18

[10]

低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法 [P].

张占东 .

中国专利 :CN105655404A ,2016-06-08

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