曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03156002.4

申请日：

2003-08-28

公开(公告)号：

CN100414438C

公开(公告)日：

2004-04-14

发明(设计)人：

福原和也井上壮一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900 H01L21027

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

段承恩;陈海红

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-10-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101587755208 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL031560024 申请日:20030828 授权公告日:20080827 终止日期:20130828
2004-04-14	公开	公开
2008-08-27	授权	授权
2004-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

曝光装置及曝光方法 [P].

熊泽雅人 .

中国专利 :CN105652609A ,2016-06-08

[2]

曝光装置的检查方法 [P].

福原和也 ;

井上壮一 .

中国专利 :CN101063827A ,2007-10-31

[3]

曝光装置用曝光头、曝光装置以及曝光方法 [P].

奥山隆志 .

日本专利 :CN118689042A ,2024-09-24

[4]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[5]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

中国专利 :CN113759666A ,2021-12-07

[6]

曝光方法及曝光装置 [P].

李煜芝 ;

戴文斌 ;

张民山 ;

蓝科 ;

周畅 .

中国专利 :CN118092085B ,2025-04-25

[7]

曝光装置和曝光方法 [P].

三宅健 ;

高木俊博 .

中国专利 :CN102063020A ,2011-05-18

[8]

曝光装置及曝光方法 [P].

豊田光纪 ;

谷津修 ;

竹内裕一郎 ;

蛭川茂 ;

诹访恭一 ;

中岛利治 .

中国专利 :CN1407408A ,2003-04-02

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

奥村哲人 ;

元田善规 ;

宫地宏昭 .

中国专利 :CN110945430B ,2020-03-31

[10]

曝光装置及曝光方法 [P].

铃木启之 ;

杉山茂久 .

中国专利 :CN108693719A ,2018-10-23

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