研磨垫修整器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201210348221.9
申请日
2012-09-18
公开(公告)号
CN102873640B
公开(公告)日
2013-01-16
发明(设计)人
戴文俊
申请人
申请人地址
201210 上海市浦东新区张江高科高斯路497号
IPC主分类号
B24B53017
IPC分类号
代理机构
上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275
代理人
吴世华;林彦之
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
研磨垫清洗装置及研磨垫修整器 [P]. 
高思玮 .
中国专利 :CN102554782A ,2012-07-11
[2]
研磨垫修整器及研磨垫修整方法 [P]. 
唐强 .
中国专利 :CN107471113A ,2017-12-15
[3]
研磨垫修整器 [P]. 
徐剑波 ;
辛君 ;
林宗贤 .
中国专利 :CN211103453U ,2020-07-28
[4]
研磨垫修整器 [P]. 
顾佳文 .
中国专利 :CN202123435U ,2012-01-25
[5]
研磨垫修整器 [P]. 
王坚 ;
杨贵璞 ;
王晖 .
中国专利 :CN104097145A ,2014-10-15
[6]
研磨垫修整器 [P]. 
顾佳文 ;
徐波 .
中国专利 :CN202200181U ,2012-04-25
[7]
研磨垫修整器 [P]. 
高思玮 .
中国专利 :CN201998059U ,2011-10-05
[8]
研磨垫修整器 [P]. 
唐强 ;
李佩 ;
朱海青 ;
马智勇 .
中国专利 :CN202292426U ,2012-07-04
[9]
研磨垫修整器 [P]. 
赵宏 .
中国专利 :CN201471296U ,2010-05-19
[10]
研磨头、研磨垫修整器及研磨装置 [P]. 
陈枫 .
中国专利 :CN202053157U ,2011-11-30