研磨垫清洗装置及研磨垫修整器

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010599914.6

申请日：

2010-12-20

公开(公告)号：

CN102554782A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

高思玮

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B53007

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-10	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101626222744 IPC(主分类):B24B 53/007 专利申请号:2010105999146 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市张江路18号变更后权利人:100176 北京经济技术开发区文昌大道18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司登记生效日:20130614
2012-07-11	公开	公开
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324732596 IPC(主分类):B24B 53/007 专利申请号:2010105999146 申请日:20101220
2014-10-08	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101705824494 IPC(主分类):B24B 53/007 专利申请号:2010105999146 申请公布日:20120711

共 50 条

[1]

研磨垫修整器 [P].

戴文俊 .

中国专利 :CN102873640B ,2013-01-16

[2]

研磨垫修整器及研磨垫修整方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN107471113A ,2017-12-15

[3]

研磨垫修整器 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN201998059U ,2011-10-05

[4]

研磨垫修整器 [P].

唐强 ;

李佩 ;

朱海青 ;

马智勇 .

中国专利 :CN202292426U ,2012-07-04

[5]

研磨垫修整器及研磨装置 [P].

吴科 ;

魏红建 .

中国专利 :CN204076016U ,2015-01-07

[6]

研磨垫修整器及研磨装置 [P].

唐强 ;

马智勇 ;

张溢钢 ;

彭婷婷 ;

林保璋 .

中国专利 :CN205271740U ,2016-06-01

[7]

一种研磨垫修整器及研磨垫修整方法 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN102485426A ,2012-06-06

[8]

研磨垫修整装置及研磨垫修整方法 [P].

弓艳霞 .

中国专利 :CN106272075B ,2017-01-04

[9]

研磨头、研磨垫修整器及研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN202053157U ,2011-11-30

[10]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

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