研磨垫修整器及研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620029745.5

申请日：

2016-01-13

公开(公告)号：

CN205271740U

公开(公告)日：

2016-06-01

发明(设计)人：

唐强马智勇张溢钢彭婷婷林保璋

申请人：

申请人地址：

300385 天津市西青经济开发区兴华道19号

IPC主分类号：

B24B53017

IPC分类号：

B24B3734

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-01	授权	授权
2020-01-03	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 53/017 申请日:20160113 授权公告日:20160601 终止日期:20190113

共 50 条

[1]

研磨垫修整器及研磨装置 [P].

吴科 ;

魏红建 .

中国专利 :CN204076016U ,2015-01-07

[2]

研磨头、研磨垫修整器及研磨装置 [P].

陈枫 .

中国专利 :CN202053157U ,2011-11-30

[3]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

尹良宣 ;

高林 .

中国专利 :CN216859379U ,2022-07-01

[4]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN207448221U ,2018-06-05

[5]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[6]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222114716U ,2024-12-06

[7]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

顾浩 ;

杨俊男 ;

闫晓晖 .

中国专利 :CN222806793U ,2025-04-29

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222269909U ,2024-12-31

[9]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

杨俊男 .

中国专利 :CN114603483A ,2022-06-10

[10]

研磨垫修整方法、研磨垫修整装置及化学机械研磨设备 [P].

陈盈同 .

中国专利 :CN106239356A ,2016-12-21

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