研磨头、研磨垫修整器及研磨装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120092541.3

申请日：

2011-03-31

公开(公告)号：

CN202053157U

公开(公告)日：

2011-11-30

发明(设计)人：

陈枫

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区上海市张江路18号

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B24B5312

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-05-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101594603573 IPC(主分类):B24B 37/00 专利号:ZL2011200925413 变更事项:专利权人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号登记生效日:20130426
2021-04-16	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):B24B 37/00 申请日:20110331 授权公告日:20111130
2011-11-30	授权	授权

共 50 条

[1]

研磨垫修整器及研磨装置 [P].

吴科 ;

魏红建 .

中国专利 :CN204076016U ,2015-01-07

[2]

研磨垫修整器及研磨装置 [P].

唐强 ;

马智勇 ;

张溢钢 ;

彭婷婷 ;

林保璋 .

中国专利 :CN205271740U ,2016-06-01

[3]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

王海宽 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

郭松辉 ;

吕新强 .

中国专利 :CN207273005U ,2018-04-27

[4]

研磨垫修整器 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN201998059U ,2011-10-05

[5]

研磨垫修整器及研磨垫修整方法 [P].

唐强 .

中国专利 :CN107471113A ,2017-12-15

[6]

研磨垫整理器及研磨装置 [P].

唐强 ;

李佩 .

中国专利 :CN202825549U ,2013-03-27

[7]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

尹良宣 ;

高林 .

中国专利 :CN216859379U ,2022-07-01

[8]

研磨垫修整器及化学机械研磨装置 [P].

田得暄 ;

辛君 ;

林宗贤 ;

吴龙江 .

中国专利 :CN207448221U ,2018-06-05

[9]

研磨垫清洗装置及研磨垫修整器 [P].

高思玮 .

中国专利 :CN102554782A ,2012-07-11

[10]

研磨垫修整器 [P].

顾佳文 ;

徐波 .

中国专利 :CN202200181U ,2012-04-25

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