用于有机废气等离子体处理装置中的高频电源电路

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620939473.2

申请日：

2016-08-25

公开(公告)号：

CN206045750U

公开(公告)日：

2017-03-29

发明(设计)人：

朱赟张琦王康宗熙敬孟奕龙

申请人：

申请人地址：

100074 北京市丰台区大灰厂路7号A区5号房间

IPC主分类号：

B01D5332

IPC分类号：

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-03-29	授权	授权

共 50 条

[1]

用于有机废气等离子体处理装置中的高频电源电路 [P].

朱赟 ;

张琦 ;

王康 ;

宗熙敬 ;

孟奕龙 .

中国专利 :CN106422691A ,2017-02-22

[2]

有机废气等离子体处理装置 [P].

朱赟 ;

张宏策 ;

张琦 ;

安婷婷 ;

刘舸 .

中国专利 :CN106422690A ,2017-02-22

[3]

有机废气等离子体处理装置 [P].

朱赟 ;

张宏策 ;

张琦 ;

安婷婷 ;

刘舸 .

中国专利 :CN206138973U ,2017-05-03

[4]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

日本专利 :CN111524781B ,2024-06-14

[5]

高频电源及等离子体处理装置 [P].

久保田绅治 ;

道菅隆 .

中国专利 :CN111524781A ,2020-08-11

[6]

等离子体处理装置、高频电源的校正方法、高频电源 [P].

佐藤贤司 .

中国专利 :CN101277578B ,2008-10-01

[7]

等离子体处理有机废气设备 [P].

陈岗 .

中国专利 :CN208260499U ,2018-12-21

[8]

高频等离子体处理装置和高频等离子体处理方法 [P].

东条利洋 ;

佐佐木和男 .

中国专利 :CN104882376B ,2015-09-02

[9]

天线、用于产生等离子体的电路，以及等离子体处理装置 [P].

李东协 ;

成德镛 ;

禹济宪 ;

金俸奭 ;

李柱昊 ;

全允珖 ;

赵贞贤 .

中国专利 :CN107979909A ,2018-05-01

[10]

等离子体处理装置、电源系统和等离子体处理方法 [P].

洪朋楷 .

日本专利 :CN119054418A ,2024-11-29

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