对具有涂层的处理腔组件进行清洁的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200380106546.5

申请日：

2003-11-12

公开(公告)号：

CN1726302A

公开(公告)日：

2006-01-25

发明(设计)人：

H·王 Y·何 C·C·斯托

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1434

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司

代理人：

赵蓉民

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-05-05	授权	授权
2006-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-12-14	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101235732144 IPC(主分类):C23C 14/56 专利号:ZL2003801065465 变更事项:专利权人变更前权利人:应用材料有限公司变更后权利人:昆腾环球技术公司变更事项:地址变更前权利人:美国加利福尼亚州变更后权利人:美国宾夕法尼亚州登记生效日:20111103
2006-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

清洁处理腔室的方法 [P].

B·S·权 ;

许璐 ;

P·K·库尔施拉希萨 ;

S·李 ;

D·H·李 ;

K·D·李 .

中国专利 :CN113498442A ,2021-10-12

[2]

用于对室清洁处理进行控制的方法和处理系统 [P].

以马利·盖德帝 .

中国专利 :CN1942603A ,2007-04-04

[3]

对带状物的表面进行涂层的方法和装置 [P].

R·布里斯伯格 ;

W·特拉科夫斯基 .

中国专利 :CN1295373C ,2005-01-05

[4]

对裂变室测量信号进行处理的方法 [P].

珍妮-帕斯卡·哈德洛特 ;

珍妮-米歇尔·吉拉德 .

中国专利 :CN101903800B ,2010-12-01

[5]

一种对镁合金表面进行处理的方法 [P].

常明珠 ;

陈梁 ;

宫清 .

中国专利 :CN1966766A ,2007-05-23

[6]

对含硫酸锌的溶液进行处理的方法 [P].

J·萨尔米南 ;

T·瑞希玛基 ;

M·罗纳拉 .

中国专利 :CN103154283A ,2013-06-12

[7]

用于对气体渗碳钢进行喷丸处理的方法 [P].

小林祐次 ;

辻俊哉 .

中国专利 :CN102869794A ,2013-01-09

[8]

用于对涡轮机的金属部件的表面进行处理的方法 [P].

索尼娅·瓦伦西娅 .

中国专利 :CN115485399A ,2022-12-16

[9]

清洁和刷新具有金属涂层的室部件 [P].

林一莘 ;

徐大江 ;

克利福德·斯托 .

中国专利 :CN1609259A ,2005-04-27

[10]

用于油泵腔的耐磨涂层 [P].

克利福德·E·马基 ;

安东尼·乔治·斯切帕克 ;

詹姆斯·莫里斯·波瓦洛 .

中国专利 :CN108468641A ,2018-08-31

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