环栅纳米线晶体管及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811616188.7

申请日：

2018-12-27

公开(公告)号：

CN109599335A

公开(公告)日：

2019-04-09

发明(设计)人：

李俊杰吴振华李永亮周娜张青竹王桂磊李俊峰王文武

申请人：

申请人地址：

100029 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

H01L21335

IPC分类号：

H01L29775 B82Y1000

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

韩建伟;董文倩

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-05-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/335 申请日:20181227
2023-01-13	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/335 申请公布日:20190409
2019-04-09	公开	公开

共 50 条

[1]

垂直堆叠的环栅纳米线晶体管及其制备方法 [P].

朱正勇 ;

朱慧珑 .

中国专利 :CN107749421A ,2018-03-02

[2]

垂直堆叠的环栅纳米线晶体管及其制备方法 [P].

朱正勇 ;

朱慧珑 .

中国专利 :CN107845684A ,2018-03-27

[3]

纳米线晶体管及其制备方法 [P].

唐粕人 .

中国专利 :CN109755290B ,2019-05-14

[4]

纳米线晶体管及其制备方法 [P].

唐粕人 .

中国专利 :CN109755312A ,2019-05-14

[5]

纳米线晶体管及其制作方法 [P].

许峰 ;

高滨 ;

李辛毅 ;

吴华强 ;

钱鹤 .

中国专利 :CN108598170B ,2018-09-28

[6]

环栅晶体管及其制备方法 [P].

刘强 ;

俞文杰 ;

任青华 ;

陈治西 ;

刘晨鹤 ;

赵兰天 ;

陈玲丽 ;

王曦 .

中国专利 :CN111435644B ,2020-07-21

[7]

环栅纳米线场效应晶体管及其制备方法 [P].

张青竹 ;

殷华湘 ;

张兆浩 ;

李俊杰 ;

徐忍忍 .

中国专利 :CN108565218A ,2018-09-21

[8]

环栅纳米线场效应晶体管及其制备方法 [P].

张青竹 ;

张兆浩 ;

殷华湘 ;

顾世海 ;

徐忍忍 .

中国专利 :CN108288647A ,2018-07-17

[9]

环栅纳米线场效应晶体管及其制备方法 [P].

张青竹 ;

殷华湘 ;

张兆浩 ;

李俊杰 ;

徐忍忍 .

中国专利 :CN108231584A ,2018-06-29

[10]

准纳米线晶体管及其制造方法 [P].

朱慧珑 ;

梁擎擎 ;

尹海洲 ;

骆志炯 .

中国专利 :CN103779226A ,2014-05-07

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