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一种用于芯片加工的刻蚀机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201820794831.4
申请日：
2018-05-28
公开(公告)号：
CN208433374U
公开(公告)日：
2019-01-25
发明(设计)人：
刘勇
申请人：
申请人地址：
224051 江苏省盐城市亭湖区南洋镇太湖路99号电子信息产业园16号楼3楼
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-01-25 | 授权 | 授权 |
| 2021-05-07 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180528 授权公告日:20190125 终止日期:20200528 |