用于芯片加工的刻蚀机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620230187.9

申请日：

2016-03-24

公开(公告)号：

CN205488063U

公开(公告)日：

2016-08-17

发明(设计)人：

张帮岭

申请人：

申请人地址：

244000 安徽省铜陵市经济技术开发区翠湖2路1258号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

铜陵市天成专利事务所 34105

代理人：

程霏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20160324 授权公告日:20160817 终止日期:20180324
2016-08-17	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于芯片加工的刻蚀机 [P].

刘勇 .

中国专利 :CN208433374U ,2019-01-25

[2]

一种用于芯片加工的刻蚀机 [P].

王星 ;

张西峰 ;

郭寒栋 .

中国专利 :CN222320220U ,2025-01-07

[3]

一种用于芯片加工的刻蚀机 [P].

卓廷厚 .

中国专利 :CN107093555A ,2017-08-25

[4]

一种用于PAD芯片加工的刻蚀机 [P].

危功辉 .

中国专利 :CN214203634U ,2021-09-14

[5]

一种芯片加工用刻蚀装置 [P].

董华军 .

中国专利 :CN211578708U ,2020-09-25

[6]

一种芯片加工用刻蚀装置 [P].

刘纯坚 ;

孙峰 ;

柏军 ;

龚英涛 .

中国专利 :CN212659510U ,2021-03-05

[7]

一种物联网芯片加工用的刻蚀装置 [P].

王鑫海 .

中国专利 :CN121215559A ,2025-12-26

[8]

集成电路芯片生产用刻蚀机 [P].

谭美龙 .

中国专利 :CN112382591A ,2021-02-19

[9]

用于半导体芯片制造的刻蚀装置 [P].

陈雅丽 .

中国专利 :CN216250642U ,2022-04-08

[10]

一种石英芯片加工的刻蚀装置 [P].

刘峰 ;

林灏帆 .

中国专利 :CN223357555U ,2025-09-19

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