化学机械抛光浆料组合物及使用其抛光钨图案晶片的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110829759.0

申请日：

2021-07-22

公开(公告)号：

CN113969106A

公开(公告)日：

2022-01-25

发明(设计)人：

李义郞具仑永金元中金亨默朴泰远李锺元赵娟振

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道龙仁市器兴区贡税路150-20号

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

H01L2148

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205

代理人：

贺财俊;臧建明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-01-25	公开	公开
2022-02-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20210722

共 50 条

[1]

化学机械抛光浆料组合物和使用其抛光钨图案晶片的方法 [P].

金元中 ;

具仑永 ;

朴泰远 ;

李义郞 ;

李种元 ;

赵娟振 .

中国专利 :CN113150694A ,2021-07-23

[2]

化学机械抛光浆料组合物及使用其抛光钨图案晶片的方法 [P].

金元中 ;

具仑永 ;

金亨默 ;

朴泰远 ;

李义郞 ;

李锺元 ;

赵娟振 .

中国专利 :CN114350263A ,2022-04-15

[3]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

沈秀姸 ;

李知虎 ;

李贤玗 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115305010A ,2022-11-08

[4]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

李知虎 ;

李泳基 ;

沈秀姸 ;

李贤玗 ;

李昌锡 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115109519A ,2022-09-27

[5]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

沈秀姸 ;

李知虎 ;

李贤玗 ;

李锺元 .

韩国专利 :CN115305010B ,2024-04-26

[6]

化学机械抛光浆料组合物及抛光钨图案晶片的方法 [P].

南沇希 ;

金龙国 ;

沈秀姸 ;

张根三 ;

黄慈英 ;

金廷熙 ;

李贤玗 ;

姜东宪 ;

李锺元 .

中国专利 :CN115141549A ,2022-10-04

[7]

钨化学机械抛光浆料 [P].

M·斯腾德 ;

A·德雷克斯凯 ;

B·布伦南 .

美国专利 :CN118510855A ,2024-08-16

[8]

化学机械抛光浆料组合物以及使用其对钨进行抛光的方法 [P].

张根三 ;

金元中 ;

朴泰远 ;

李知虎 ;

李义郞 ;

金眞敎 ;

李东炫 ;

李昌锡 .

韩国专利 :CN117987014A ,2024-05-07

[9]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

中国专利 :CN114829521A ,2022-07-29

[10]

化学机械抛光组合物及使用其的化学机械抛光方法 [P].

北村启 ;

并木明久 ;

增田刚 ;

松村义之 .

日本专利 :CN114829521B ,2024-04-09

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