钨化学机械抛光浆料

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280088361.9

申请日：

2022-11-29

公开(公告)号：

CN118510855A

公开(公告)日：

2024-08-16

发明(设计)人：

M·斯腾德 A·德雷克斯凯 B·布伦南

申请人：

弗萨姆材料美国有限责任公司

申请人地址：

美国亚利桑那州

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/321 H01L21/67

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

吴亦华;徐志明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	公开	公开
2024-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20221129

共 50 条

[1]

钨的化学机械抛光方法 [P].

何蔺蓁 ;

蔡薇雯 ;

李振彬 .

中国专利 :CN108372459B ,2018-08-07

[2]

化学机械抛光浆料和使用该浆料的化学机械抛光方法 [P].

李在东 ;

尹普彦 ;

韩镛弼 .

中国专利 :CN1288722C ,2003-09-10

[3]

化学机械抛光用浆料 [P].

崔银美 ;

申东穆 ;

曹升范 .

中国专利 :CN102414293B ,2012-04-11

[4]

用于化学机械抛光的浆料和化学机械抛光方法 [P].

加藤充 ;

冈本知大 ;

加藤晋哉 .

中国专利 :CN104471684A ,2015-03-25

[5]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106103638B ,2016-11-09

[6]

钨化学机械抛光中的凹陷减少 [P].

M·施滕德尔 ;

B·J·卢 ;

史晓波 .

中国专利 :CN105885699A ,2016-08-24

[7]

用于钨化学机械抛光的组合物 [P].

S.格伦宾 ;

J.戴萨德 ;

富琳 ;

W.沃德 ;

G.怀特纳 .

中国专利 :CN106103639A ,2016-11-09

[8]

钨化学机械抛光组合物 [P].

富琳 ;

S.格拉宾 ;

J.戴萨德 ;

李常怡 .

中国专利 :CN106661430B ,2017-05-10

[9]

钨的化学机械抛光方法 [P].

J·Ｄ·彭 ;

何蔺蓁 ;

S·苏 .

中国专利 :CN109382756B ,2019-02-26

[10]

化学机械抛光浆料组合物及使用其抛光钨图案晶片的方法 [P].

李义郞 ;

具仑永 ;

金元中 ;

金亨默 ;

朴泰远 ;

李锺元 ;

赵娟振 .

中国专利 :CN113969106A ,2022-01-25

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