纳米金刚石薄膜制备用衬底预处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710080946.7

申请日：

2017-02-15

公开(公告)号：

CN106893997B

公开(公告)日：

2017-06-27

发明(设计)人：

王林军赵申洁黄健任兵唐可

申请人：

申请人地址：

200444 上海市宝山区上大路99号

IPC主分类号：

C23C1602

IPC分类号：

C23C1627 C23C16511

代理机构：

上海上大专利事务所(普通合伙) 31205

代理人：

顾勇华

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-31	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 16/02 申请日:20170215 授权公告日:20190222 终止日期:20220215
2019-02-22	授权	授权
2017-06-27	公开	公开

共 50 条

[1]

柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法与应用 [P].

史新伟 ;

姚宁 ;

李杏瑞 ;

张兵临 ;

程春晓 ;

柴士磊 ;

周秋霞 ;

靳慧智 .

中国专利 :CN102634793A ,2012-08-15

[2]

纳米金刚石薄膜窗口的制备方法 [P].

胡广 ;

祝雪丰 ;

王林军 ;

黄健 ;

徐金勇 ;

夏义本 .

中国专利 :CN101235485A ,2008-08-06

[3]

适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途 [P].

杨保和 ;

熊瑛 ;

陈希明 ;

吴晓国 ;

孙大智 .

中国专利 :CN1718852A ,2006-01-11

[4]

一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

史新伟 ;

李杏瑞 ;

王晓霞 ;

姚宁 ;

张兵林 ;

周秋霞 ;

靳慧智 .

中国专利 :CN102965666A ,2013-03-13

[5]

纳米金刚石薄膜的制备装置 [P].

龚辉 ;

范正修 .

中国专利 :CN1332268A ,2002-01-23

[6]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[7]

一种纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杨彬 ;

雷乐成 ;

李浩 .

中国专利 :CN105755448A ,2016-07-13

[8]

金刚石纳米针阵列光吸收层及其制备方法 [P].

袁牧锋 ;

王春栋 ;

梁永波 ;

叶彦恺 .

中国专利 :CN115928051B ,2024-08-27

[9]

一种一维金刚石纳米锥阵列材料的制备方法 [P].

杨兵 ;

姜辛 ;

卢嘉琪 ;

喻彪 ;

黄楠 ;

刘鲁生 ;

李海宁 .

中国专利 :CN112301423A ,2021-02-02

[10]

一种生长高质量金刚石颗粒及金刚石薄膜的方法 [P].

朱嘉琦 ;

姚凯丽 ;

代兵 ;

杨磊 ;

韩杰才 .

中国专利 :CN108505018B ,2018-09-07

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